服務電話:400-6362-118
        碳化硅晶圓(SiC)劃切方法
        發布時間:2024-04-16 點擊數:2185

        作為一種寬禁帶材料,碳化硅(SiC)由于其寬帶隙高機械強度和高導熱性,被認為是電子工業中硅(Si)基半導體的替代材料。例如,SiC功率器件可以在更高的電壓、頻率和溫度下工作,而且能夠以更高的效率或更低的功率損耗來轉換電力。與此同時,碳化硅是一種非常硬和脆的材料(莫氏硬度達9.2),這造成工藝加工的難題。特別是在晶圓減薄和晶圓劃切過程中更是如此。

         

        金剛石劃片刀是目前切割SiC晶圓的常用技術。晶圓固定UV膜上,通過高速旋轉的金剛石電鍍刀片來進行切割。切割的寬度通常在50到 100 微米的范圍內。由于SiC的硬度,刀片切割的切割速度較低,而且切割刀片的磨損較高,切割難度大。所以采用金剛石劃片刀進行切割需要分兩刀,先開槽后切斷,實現正面背面崩缺最小。且在一定程度上提升切割效率。另外,配合超聲波刀片可以更高效切割。

         

        除此以外,就是激光切割需要用刀劃片機以外的設備。


        主站蜘蛛池模板: 国产喷水女王在线播放| 小帅男同志chinesecouple| 亚洲精品无码专区在线在线播放| 韩国三级黄色片| 夜色福利久久久久久777777| 久久久噜久噜久久gif动图| 欧美成人精品高清在线观看| 午夜精品一区二区三区免费视频| 一级试看120秒视频| 女性特黄一级毛片| 久久人人爽人人爽av片 | 在线视频你懂的国产福利| 久久久久人妻精品一区蜜桃| 欧美成人免费在线观看| 免费看黄网站在线| 青青操免费在线视频| 国语做受对白XXXXX在线| 中文字幕av无码专区第一页| 欧美一区二区在线观看免费网站| 免费看一级性生活片| 青青草原视频在线观看| 国产线路中文字幕| h电车侵犯动漫在线播放| 我要看真正的一级毛片| 亚洲av无码精品色午夜| 男女做污污无遮挡激烈免费| 国产国语videosex| jizz性欧美12| 天天爽夜夜爽人人爽一区二区 | 精品午夜福利在线观看| 国产成人无码午夜视频在线观看 | 蜜臀91精品国产免费观看| 国产熟女一区二区三区五月婷| 99re在线精品视频| 好紧的小嫩木耳白浆| 中文字幕在线观看一区二区| 日韩免费毛片视频| 亚洲日本va中文字幕久久| 看亚洲a级一级毛片| 哦┅┅快┅┅用力啊┅┅动态图| 阿v网站在线观看|