晶圓切割主要采用輪轂型電鍍硬刀，切割過程中可能會(huì)出現(xiàn)崩邊，這是最常見的問題。崩邊分為正面崩邊和背面崩邊，原因不同。這一次我們主要分析了正面崩邊的原因。

     正面崩邊分為三類：

     1、早期崩邊與新刀片安裝有關(guān)，可能是由于刀片安裝傾斜、刀片未修成真圓或金剛石未產(chǎn)生容削槽等原因造成的；

     2、循環(huán)崩邊可能是由于刀片表面受到?jīng)_擊，刀片表面有大顆粒金剛石凸起或其它外來雜質(zhì)；

     3、造成其他崩邊的原因有刀片偏置、進(jìn)速和切割深度等問題，也有可能是由于工件有位移變形而導(dǎo)致的異常崩邊。